Traite en toute sécurité divers gaz

Dans la fabrication de semi-conducteurs, les systèmes de traitement des gaz d'échappement et les installations connexes jouent un rôle majeur dans le traitement sûr des différents gaz générés au cours du processus. Cependant, les configurations de traitement classiques nécessitent souvent des équipements de dilution et de traitement à grande échelle pour garantir la sécurité, ainsi que des équipements de traitement des eaux en aval. Ces éléments peuvent avoir un impact significatif sur la planification des usines, non seulement en termes de coûts d'équipement, mais aussi d'espace d'installation et de charge opérationnelle. Par conséquent, il n'est pas rare que des surfaces initialement destinées aux équipements de production soient occupées par les équipements de traitement et les infrastructures associées.

Pour relever les défis liés au traitement des gaz d'échappement des semi-conducteurs, HELIX Environmental Development propose d'examiner les configurations de traitement utilisant une technologie de « création de plasma à partir d'eau ». L'avantage principal réside dans le fait que, plutôt que d'exiger des rénovations importantes des équipements existants, le flux de traitement et la configuration actuelle peuvent être utilisés. Il est ainsi possible d'envisager l'intégration de cette technologie comme étape supplémentaire en fin de chaîne (point d'utilisation/dernier kilomètre), selon les besoins. Cette approche facilite l'examen des configurations qui reposent généralement sur la dilution et des équipements de grande taille, et permet de réduire la taille des équipements de traitement et des installations de traitement des eaux associées, ainsi que les charges opérationnelles, en fonction des conditions d'application.

De plus, HELIX Environmental Development privilégie la conception d'un procédé de traitement adapté au site, en tenant compte non seulement des performances de l'équipement, mais aussi de sa connectivité avec les installations existantes, de l'espace disponible, des besoins en utilités, des systèmes de maintenance et d'exploitation, ainsi que de l'impact sur la production. En réduisant la surface et les infrastructures nécessaires au traitement des gaz d'échappement, nous facilitons l'aménagement de l'espace au sein de l'usine pour les équipements de production et les extensions futures, pour un résultat à la fois respectueux de l'environnement et productif.